压力传感器概要压力传感器的定义
压力传感器,是指以膜片装置(不锈钢膜片、硅酮膜片等)为媒介,用感压元件对气体和液体的压力进行测量,并转换成电气信号输出的设备。
原理半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力,通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。 静电容量型压力传感器,是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,将通过外力(压力)使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。 (E8Y的动作原理便是静电容量方式,其他机种采用半导体方式)。
半导体形变压力计的结构 压电效果的定义
术语解说标准压力是以大气压为标准来表示的压力大小。 比大气压高的压力称为“正压”,比大气压低的称为“负 压”。 绝对压力以绝对真空为标准表示的压力大小。 差压(相对压)相对于任意的比较压力(标准压)表示的压力大小。
大气压是指大气的压力。标准大气压(1atm)相当于高度为760mm的水银柱产生的压力。 真空是指比大气压低的压力状态。 检测压力范围可使用传感器的检测压力范围。 耐压力恢复到检测压力时,不会引起性能下降的可承受压力。 重复精度(ON/OFF输出)在一定温度(23℃)下,增减压力时,在检测压力的全部值中除去反运行的压力值后的动作点压力变动值。 精度(线性)在一定温度(23℃)下,从全部值中除去施加零压力及额定输出时的输出电流的规格值(4mA、20mA)中的偏离值。 单位用%F.S.表示。 直线性(线性)模拟输出相对于检测压力,几乎呈直线性变化,但与理想直线有若干偏离。这种偏离相对于全部值用%来表示。
磁滞现象(线性)在零电压和额定电压下,在各输出电流(或电压)值间划出理想直线,求得实测电流(或电压)值和理想电流(或电压)值间的误差值。求得压力上升时的误差值和压力下降时的误差,在全部的电流(或电压)中除去这些差的绝对值的最大值后的值。单位用%F.S.表示。 磁滞现象(ON/OFF输出)指从压力的全部值中除去输出的ON点压力和OFF点压力之差后的值。
非腐蚀性气体是指空气中所含的物质(氮气、二氧化碳等)和惰性气体(氩、氖等)。 计量法在1993年11月1日实施的新计量法中,除生物体内压力的测量外,禁止使用Torr。 此外,从1999年9月30日起开始禁用kgf/m2和mHg(血压测量除外)、mH2O。 压力单位转换表
| kgf/cm2 | mmHg | mmH2O | Pa | 1kgf/cm2 | 1 | 735.559 | 1.000028×104 | 0.0980665M | 1mmHg | 1.3595×10-3 | 1 | 1.3595×10 | 0.133322k | 1mmH2O | 0.99997×10-4 | 7.356×10-2 | 1 | 0.00980665k | 1Pa(N/m2) | 1.0197×10-5 | 7.5006×10-3 | 0.10197 | 1 |
输出阻抗1. 电压输出型的输出阻抗的测量方法
Ro:输出阻抗 Rx:负载电阻 Eo:输出电压(端子打开时) lx:负载电流(连接负载Zx时) 在图1中,连接负载电阻(Rx)时的流过的电流为 根据公式(1)求输出阻抗(Ro)为 然后,测定输出开放时的电压(Eo)。接着测定连接负载电阻(例如转换器的容许负载电路的最小值)时的电压(Ex)。将测得的Eo和Ex值以及连接的负载电阻值(Rx)代入公式(2)中,计算出转换器的输出阻抗(Ro)。 2. 电流输出型的输出阻抗的测量方法在图2中,连接负载电阻(Rx)时的输出端子电压(Ex)为
Ex = IxRx =(Io=Ix)Ro …(3) 根据公式(3)求输出阻抗(Ro)为 然后,测量输出短路时的电流(Io)。
Ro:输出阻抗 Rx:负载电阻 lo:输出电流(端子短路时) lx:输出电流(连接负载Rx时) Ex:输出电压(连接负载Rx时) 接着,测定连接负载电阻(例如转换器容许负载电阻的最大值)时的电流(Ix)。将测定时的Io和Ix值以及连接的负载电阻值(Rx)代入公式(4)中,计算出转换器的输出阻抗(Ro)。 此外,这里介绍的转换器的输出阻抗是正常动作时的值。 3. 理想的输出阻抗一般来说,为了使转换器的负载变动造成的影响尽量减少,应尽量使电压输出型转换器的输出阻抗保持为最小值,即接近0Ω。 此外,电流输出型的转换器则与此相反,需要更大的值,即保持无限大的输出阻抗。 4. 使用阻抗的计算示例模拟电压 压力传感器 | |
| 负载 |
| Ro=100 Ω |
| Rx=1k Ω 以上 |
共通注意事项 ★各商品的注意事项,请参见各商品的「 请正确使用 」。
警告 |
不能作为冲压的安全装置或其他人体保护用安全装置使用。 本产品与安全性无关,主要用于工件和作业者的检测用途。
关于耐压力请不要施加超过额定耐压力的压力。 若施加了耐压力以上的压力,可能引起破损。 关于使用环境请避免在有可燃性和爆炸性气体的环境下使用。 关于电源电压使用时请不要超过使用电压范围。若施加了使用电压范围以上的电压,则可能引起破裂或烧毁。 关于负载短路请避免使负载短路。否则可能引起破裂或烧毁。 关于误布线请避免对电源的极性等进行错误布线。 否则可能引起破裂或烧毁。
使用对应非腐蚀性气体的产品作为适用流体时,请使用经过空气过滤器的,已去除水分?油分的气体。 请勿从导压部插入针等物品。否则会使压力元件破损,无法进行正常动作。 请避免与高压线、动力线并列设置。 安装时,请避免使超声波振动直接碰到传感器。 请勿在导线及接插件部分施加30N以上的拉伸力。 导线的延长在10m以内。详细内容请参见前页(1380页)的输出阻抗项。
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