INFICON SQC-310 系列仪器是多通道基于 QCM 的镀层控制仪. 这些轻便的低价格仪器提供独特的精度和强大的功能.标准的 SQC-310 配备多至两个石英晶体传感器, 和控制多至两个蒸发源. 包含 8 个过程控制继电器, 和 8 个数字输入支持广范围的外接设备. 传感器, 输出, 和数字 I/O 的数量可用扩展电路板加倍. SQC-310C 的共镀层型号允许同时沉积多至 4 种材料. RS-232 和USB 通讯是标准件, 带有以太网选件.
注: 在本手册中, SQC-310 和 SQC-310C 均称为 SQC-310. 在必要区分两种型号的情况下, 将分别标明 SQC-310 或 SQC-310C 的型号
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SQC310 Manual V610_chs.pdf
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目录：
第 1 章 – 快速开始................................................................................................. 1-1
1.0 引言 ......................................................................................................... . . . 1-1
1.1 面板 ......................................................................................................... . . 1-2
1.2 后板.......................................................................................................... . . 1-3
1.3 系统连接........................................................................................... . . . . . . . 1-4
1.4 安装 .......................................................................................................... . . 1-5
1.5 菜单 ...............................................................................................................1-6
1.6 薄膜沉积综述 ........................................................................... . . . . . . . . . 1-8
1.7 建立过程.............................................................................................. . . . . . . 1-9
1.8 沉积膜层 .............................................................................................. . . . . . 1-12
第 2 章 – 操作................................................................................................... . . 2-1
2.0 引言 ......................................................................................................... . . 2-1
2.1 定义........................................................................................................... 2-1
2.2 定义膜系................................................................................................ . . . 2-2
2.3 定义过程.............................................................................................. . . . . . 2-6
2.4 定义膜层................................................................................................ . . . 2-8
2.5 传感器和源设置...................................................................................... . . 2-9
2.6 运行过程 ........................................................................................... . . . . . . . . 2-11
2.7 调谐环...................................................................................................... . . 2-15
2.8 故障查找 ................................................................................................ . . . 2-17
第 3 章–菜单.......................................................................................................... 3-1
3.0 引言 ......................................................................................................... . . . 3-1
3.1 主屏, 菜单 1.......................................................................................... . . . . 3-2
3.2 主屏, 菜单 2.......................................................................................... . . . 3-3
3.3 主屏, 菜单 3.......................................................................................... . . . . 3-4
3.4 快速编写菜单 ................................................................................................3-5
3.5 过程菜单 ................................................................................................... . . 3-7
3.6 编写膜层菜单................................................................................................ 3-9
3.7 膜层复制, 插入和删除菜单.............................................................. . . . . . . . . . . 3-12
3.8 膜系菜单 ....................................................................................................... 3-15
3.8.1 编写膜系菜单 ......................................................................................... 3-16
3.8.2 膜系前提条件处理菜单 .......................................................................... 3-19
3.8.3 膜系沉积控制菜单....................................................................... . . . . . 3-20
3.8.4 膜系配置传感器菜单...................................................................... . . . 3-21
3.9 系统菜单 .................................................................................................... 3-22
传感器和源 ............................................................................................. . . . . 3-22
3.9.1 输入和继电器菜单 ................................................................................ 3-25
3.9.2 逻辑菜单................................................................................................. 3-27
3.9.3 传感器和源菜单 .......................................................................... . . . . . . 3-32
目 录
0-4
第 4 章 – 维护.............................................................................................. . . . . . . 4-1
4.0 引言 ......................................................................................................... . . 4-1
4.1 清洗 ............................................................................................................. 4-1
4.2 软件升级 ............................................................................................. . . . . 4-1
4.3 清理内存 ............................................................................ . . . . . . . . . . . . 4-1
4.4 半机架适配件安装........................................................................... . . . . . . 4-1
4.5 全机架扩展件安装 ........................................................................... . . . . . . 4-2
第 5 章 – 通讯........................................................................................ . . . . . . . . . . 5-1
5.0 引言 ......................................................................................................... . . . 5-1
5.1 SQC310 COMM.EXE ................................................................................... 5-1
5.2 通讯协议................................................................................... . . . . . . . . .5-1
5.3 SQC-310 指令 ......................................................................................... . . . 5-3
附录
A. 材料参数
B. 技术规范
C. I/O 连接件
D. 手持遥控器
E. 符合标准的声明
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